在半导体产业的精密舞台上,一场关于技术创新与环保并重的变革正悄然上演。无锡华瑛微电子技术有限公司,一家深耕半导体湿法工艺设备的绿色科技企业,凭借其独特的原创技术,为行业带来了新的活力。
华瑛微的副总裁杨崴,在一场深度访谈中,详细阐述了公司的五大核心产品,特别是全自动晶圆边缘腐蚀与清洗设备,该设备通过精准的气液混合手段,实现了对硅片边缘氧化硅层的高效低成本处理。相较于传统的贴膜工艺,华瑛微的设备不仅简化了生产流程,大幅降低了耗材成本和环境污染,还显著提升了工艺品质。
杨崴进一步介绍了公司的全自动晶圆污染提取测量设备和全自动晶圆清洗和钝化设备,这两款设备同样采用了华瑛微原创的动态薄层(DTL)技术,能够在微处理腔内完成晶圆表面的清洗、钝化和干燥过程,无需大量化学品和纯水,降低了生产成本和环境负担。
在访谈中,杨崴还分享了自己对中国半导体行业发展的深刻洞察。他提到,从早期的设备禁运到如今的国产设备遍地开花,中国半导体行业经历了从学习到创新再到突破的艰辛历程。
华瑛微的产品凭借独特的创新性和环保性,在激烈的市场竞争中脱颖而出,赢得了客户的广泛认可和赞誉。杨崴表示,未来华瑛微将继续聚焦于DTL技术的应用拓展,推动半导体行业向更加高效、环保的方向发展。